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Werkstoffsynthese und Herstellungsverfahren
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Halbleiter-Nanoelektronik
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Institut für Halbleiterschichten und Bauelemente
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Mikrostrukturforschung
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Center of Nanoelectronic Systems for Information Technology
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Institut für Energieforschung
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Institut für Energie- und Klimaforschung
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Institut für Bio- und Nanosysteme
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Institut für Festkörperforschung
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